KLA科磊NanoFlip常温原位纳米压痕仪

KLA科磊NanoFlip常温原位纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜（SEM）或是聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度非常快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项，可获取定量结果，为材料研究提供有价值的解决方案。

产品描述

KLA科磊NanoFlip常温原位纳米压痕仪可在真空和气氛条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip在测试（例如微柱压缩）方面表现优异，可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速，这对于惰性环境（例如手套箱）中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件，例如InForce50电磁驱动器，可以提供定量结果，从而为材料研究提供有价值的解决方案。

NanoFlip配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。革命性的FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。

主要功能

KLA科磊NanoFlip常温原位纳米压痕仪InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换

InQuest高速数字控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数

XYZ运动系统，用于样本定位的

SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步

独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准

InView控制和数据处理软件，与Windows®10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验

主要应用

硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）

连续刚度测量

高速材料力学性能分布图

ISO 14577硬度测试

纳米动态力学分析（DMA）

定量划痕和磨损测试