KLA科磊InSEM HT高温原位纳米压痕仪

KLA科磊InSEM HT高温原位纳米压痕仪安捷伦通过在真空环境下独立加热压头和样品，以测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜 (SEM) 及聚焦离子束 (FIB) 工作室或独立真空室兼容。InView软件可帮助高级研究人员开发新实验。科学出版物显示，InSEM HT的结果与传统大尺度高温试验数据匹配良好。拥有较大的温度范围能力和较低的拥有成本，这种组合使 InSEM HT成为材料开发研究中的宝贵工具。

产品描述

KLA科磊InSEM HT高温原位纳米压痕仪安捷伦通过在真空环境中分别独立加热压头和样品以测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）工作室，或独立的真空工作室兼容。配有的InView软件可帮助高级研究人员开发新的实验。科学出版文献表明，InSEM HT结果与传统的大尺度高温测试数据匹配良好。测试温度范围宽以及拥有成本低的特点使InSEM HT成为材料开发研究计划中很有价值的设备。InSEM HT高温测试系统可在真空环境下独立加热压头和样品，并与多种 SEM/FIB室或独立真空室兼容。在温度高达800℃ 时，可在原位模拟极端温度条件并获得一致、可靠的测试数据。钼制底座上的单晶碳化钨压头针对高温测试应用进行了优化，有多种几何形状可供选择。

主要功能

InForce 50驱动器，压头可加热，适用于电容位移测量和电磁力驱动，并配有可互换的压头

样品可升温至800°C，采用10mm样品尺寸和真空兼容的样品安装系统

InQuest高速数字控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数

用于样本定位的XYZ运动系统

SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步

独特的软件集成压头校准系统，可实现快速，准确的压头校准

与Windows®10兼容的InView控制和数据审查软件以及测试方法开发软件，用于用户自定义实验

主要应用

高温测试

硬度和模量测量（Oliver-Pharr）

连续刚度测量

高速材料特性分布图

蠕变测量

应变速率敏感因子

硬度和模量测量（Oliver-Pharr）

机械性能对新材料的研发至关重要。InSEM HT纳米压痕仪可测量各种材料的硬度，尤其是监控在热应力下的机械性能的变化。

连续刚度测量

连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变率和频率引起的影响。InSEM HT纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激发，可进行基于时间的监测，准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。

快速材料力学性能成像

KLA科磊InSEM HT高温原位纳米压痕仪安捷伦对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。InSEM HT在X 轴和Y轴上的样品台可移动范围为20毫米，Z轴的范围为25毫米，还能在样品区域内测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。

高温测试

很多行业领域的材料研究不仅侧重于机械应力下的性能，还有热应力下的性能。InSEM HT是专为下一代材料测试而设计的仪器，可用于如航空航天、车辆和军事/防御等先进技术应用场景。

蠕变测量

材料由于外加负载以及温度升高而发生变形。蠕变测量是机械和热应力联合作用下应变随时间的变化，蠕变行为对于车辆和航空航天系统的有效设计至关重要。InSEM HT支持的测试温度高达800℃，并可同时监测材料的应变。

应变速率敏感因子

使用应变速率敏感因子，可以定量描述不同加载条件下产生的应变。例如，短时间内在材料上施加机械/热应力，产生的应变可能与更缓慢地施加应力时不同。InSEM HT支持用户自定义实验，在高达800°C时测量不同加载条件下的应变响应。

适用行业

大学、实验室和研究所

航空航天

汽车制造

硬质涂层

核能

军事/国防

更多应用，请联系我们以探讨您的需求

选配件

连续刚度测量（CSM）

CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，KLA科磊InSEM HT高温原位纳米压痕仪安捷伦以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界常用的测试方法。CSM 还可用于其他高级选件，包括用于储存模量和损耗模量测量的ProbeDMA™ 方法和排除衬底影响的测量方法AccuFilm™。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中，使用极为简便，且确保数据质量。

InForce 50作动器

InForce 50作动器可以施加高达50mN的力以进行纳米力学测试。KLA独特的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。KLA独特的机械设计可确保单一方向自由度的谐波运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。InForce和Gemini作动器系列的压头均可互换。InForce 50作动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA™、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。

InForce 1000作动器

InForce 1000作动器采用高达1000mN的力度执行纳米力学测试。KLA独特的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。KLA独特的机械设计可确保单一方向自由度的谐波运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。InForce和Gemini作动器系列的压头均可互换。InForce 1000作动器与CSM、NanoBlitz、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选项兼容。

NanoBlitz 3D

NanoBlitz 3D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高（>3GPa）的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。

AccuFilm ™薄膜测试方法

AccuFilm™薄膜测试方法是一种基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，KLA科磊InSEM HT高温原位纳米压痕仪安捷伦使用连续刚度测量（CSM）来测量排除基材影响的材料特性。AccuFilm™可对软衬底上的硬性薄膜测量进行衬底材质影响的校正，也可对硬衬底上的软性薄膜进行同类校正。

DataBurst

对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。InSEM HT系统与用户方法开发选件搭配使用，可修改方法方便与DataBurst协作使用。

InView的“用户方法开发”选项

InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。经验丰富的用户可借助InSEM HT设置并执行几乎所有小尺度的机械测试。KLA的核心技术。

压头和标准样品

有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。